Heat & Wet Type Scrubber(适用范围)：
加热部分:是在针对工艺过程中B2H6,H2,BCL3,SiH4,SiHCL3,SiH2Cl2等可燃性气体通过高温氧化方式，将这些有害有毒气体处理成安全无害的气体或者粉尘，以及生成CL2,F2,HF等水溶性气体。
水洗部分:是采用水直接喷向热分解时产生的高温气体的方法,以达到快速冷却高温气体的目的,同时冲洗部分气体高温产出的粉尘，以及净化处理CL2,BCL3,F2,HF等水溶性气体。
Thermal Wet Scrubber 设备流程
Thermal Wet Scrubber 设备参数
高效的尾气洗涤方式
完善的安全系统应用
低廉的运营成本
循环体系的运用
操作和保养简单方便
热N2/热尾气应用设计
管控系统设计
